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原位芯片是一家专业制造氮化硅薄膜窗口的高科技芯片公司，凭借十多年的MEMS工艺经验，原位芯片可以为您设计定制适用于各种电镜的氮化硅膜窗格，以满足各类实验需求。
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| 服务商： 苏州原位芯片科技有限责任公司 | 查看该公司所有服务 >> |
原位芯片是一家专业制造氮化硅薄膜窗口的高科技芯片公司，凭借十多年的MEMS工艺经验，原位芯片可以为您设计定制适用于各种电镜的氮化硅膜窗格，以满足各类实验需求。 原位芯片定制产品均在百级洁净环境中制备，定制参数范围广，采用高效的定制流程为广大高效，科研人员提供专业的定制服务。
| 定制参数 | 项目特性 |
|---|---|
| 硅基底厚度 | 100—1000μm |
| 外框尺寸 | 1μm |
| 氮化硅薄膜厚度 | 15—2000nm |
| 氮化硅薄膜应力 | 50—1000Mpa |
| 薄膜窗口尺寸 | 3μm—15mm |
| 表面薄膜金属（Au/Pt/Cu/Ti/Cr等数十种） | 5—2000nm |
| 表面氧化物、化合物（SiO2/Al2O3等数十种） | 5—2000nm |
| 金属、化合物的图形化最小线条宽度 | 50nm |
| 硅凹槽通道刻蚀 | 50nm—1000μm |
| 氮化硅薄膜刻蚀盲孔通孔 | 5nm |
| 其他数十种微纳米MEMS工艺 | |
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