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OLS5100 3D测量激光显微镜以纳米精度赋能半导体光刻制程革新

浏览次数：1287　发布日期：2025-6-10　来源：本站　仅供参考，谢绝转载，否则责任自负

奥伟登（Evident）LEXT OLS5100 3D测量激光显微镜重磅赋能半导体光刻领域！融合纳米级测量精度与智能自动化技术，突破散射光干扰与微小结构检测瓶颈，为光刻胶厚度控制、蚀刻图案验证及缺陷分析提供全流程解决方案，助力先进制程良率跃升与工艺创新。

发布者：奥伟登光学科技（上海）有限公司
联系电话：4009690456
E-mail：marketing.cn@evidentscientific.com

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标签： 3D测量激光显微镜

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