SPM-FIB-SEM系统联用在集成电路失效分析中的应用

浏览次数：605　发布日期：2019-1-22　来源：本站　仅供参考，谢绝转载，否则责任自负

相关探针和电子显微镜（CPEM）是一种结合扫描电子显微镜（SEM）和扫描探针显微镜（SPM）的新技术。集成电路中的目标层可以通过SEM和SPM在同一地点，同时和相同的协调下进行分析系统。CPEM图像包含表面形貌信息以及典型的SEM细节,SPM / FIB / SEM技术的集成显着简化了用于故障分析，质量控制和集成电路研发的去层过程./imgproduct/userfiles/2019012251595464.pdf