半自动显影机-爱姆加电子设备

该设备主要由主轴单元、显影液供给系统、清洗系统、控制系统等组成，采用框架结构，外表为优质不锈钢镜面护板，无发尘量且不吸浮尘颗粒，工作方式为手动上下片，自动完成显影、清洗等工艺。为适应基片显影，显影工艺腔体为多层气液分离结构；主轴电机采用进口交流伺服电机，保证旋转转速、加速度控制精度高，重复性、稳定性好。多件套组成的防溅、废液收集、气流控制，使显影工艺条件达到最佳效果。为保证人身安全，这些防溅杯（罩）等部件均用一定强度的金属材料制成。有两路路供显影液系统，一路清洗液，液体的配置根据工艺要求可选配。控制系统由编程控制器+触摸屏组成，动态画面人机交互，显示设备运行过程中各工艺功能执行情况；工艺参数数字，用户使用分等级、严重紧急情况、超限报警；自由编制、修改、编辑、储存、调用工艺程序；故障、生产工艺参数等可长期保存备查；操作简便，故障提示导寻，维修便利。胶厚为0.5μm经曝光片内不同位置相同图形的均匀性：≤±1μm；片间相同位置相同图形均匀性为：≤±5%，显影10片晶圆，每片测9点的线宽值，计算显影均匀性。

陕西爱姆加电子设备有限公司成立于2011年07月12日，注册地位于陕西省西安市未央区北二环136号欣心家园优然居2幢1单元11101室，法定代表人为周强。经营范围包括半导体设备、半导体材料、电子产品、机械零配件、仪器仪表、专用机床、力学、测量检测设备、化学抛光设备的技术开发及服务；薄膜电路生产；光纤照明设备、环境试验设备的生产及销售。