URE-2000/25型光刻机
技术特征：
1、采用多反射镜实现均匀照明；
2、超精密手轮对准调节
3、单片机控制,触摸开关操作；
4、高倍率双目双视场显微镜和19英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程，并提供USB输出；
既满足高精度对准，又可用于检测曝光结果，且曝光结果和方便存储；
5、曝光波长采用纯净365nm,冷光照明（曝光面能量5mW/cm ，温度小于35度）；
6、手动上下版、样片，手动调平；手动分离间隙。
快门可以单独开启，也可以数字设定自动倒计时曝光（设定范围0.1s-9999s）；
7、采用350W进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度；
8、整机精度高、性能可靠、操作方便、具有高性价比。
技术参数：
◆ 曝光面积： 1 0 0 m m × 1 0 0 m m
◆ 分辨力： 1 . 2 μm（ 胶厚2 μm的正胶）
◆ 对准精度： 0 . 8 μm
◆ 掩模样片整体运动范围： X ： 6 m m ; Y : 6 m m
◆ 掩模尺寸： 2 . 5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
◆ 样片尺寸: 直径1 5 m m - - 1 0 0 m m ( 可适应非标准片或碎片)
厚度0 . 1 m m - - 6 m m
◆ 照明均匀性： 4 % （ 1 0 0 m m 范围）
◆ 掩模相对于样片运动行程： X : 5 m m ; Y : 5 m m ; : 6 度
◆ 汞灯功率： 3 5 0 W （ 直流）
◆ 曝光波长： 3 6 5 n m
◆ 曝光能量密度： 1 5 m W / c m
◆ 曝光设定方式： 定时（ 倒计时方式0 . 1 s— 9 9 9 . 9 s ）
◆ 外形尺寸： 1 2 0 0 m m （ 长） 9 0 0 m m ( 宽) 1 6 0 0 m m （ 高）
配置
（1）曝光头
冷光椭球镜
350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
XYZ汞灯调节台
光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（79个透镜）、i线滤光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2
冷却风扇
（2）对准工件台
掩模样片整体运动台
掩模样片相对运动台
转动台
样片调平机构, 手动
样片调焦机构，手动
承片台3个（Ø50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm）
掩模夹4个（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）
掩模抽拉式上下机构
（3）对准显微镜
光源（配备品2只）、 电源
双目双视场对准显微镜主体
目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）
物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）
（4）电控系统
汞灯触发电源(350W直流汞灯)
单片机控制系统
控制箱
（5）气动系统
气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
电磁阀驱动
气动仪表
（6）其他附件
真空泵一台
空压机一台
管道
（7）技术资料
使用维修说明书
显微镜使用说明书
