蔡司 Sigma 360 重磅推出 8 英寸晶圆全观察方案
浏览次数:21718 发布日期:2026-2-9
来源:蔡司显微镜
蔡司中国紧贴国内市场需求,凝结本土创新能力,在蔡司
场发射扫描电子显微镜 Sigma 360 成功开发 8 英寸晶圆全尺寸观察解决方案。
无需选择大体积舱室,无需担忧碰撞风险,凭借一贯的高分辨成像能力与优异的低电压表现,助您精准测量关键 CD尺寸,排查全制程各类微观缺陷,成为半导体检测领域可靠的得力伙伴。
方案亮点
全视野覆盖 观察无死角
8 英寸晶圆在 Sigma360 舱室中的可观察直径实现重大突破,由原来的 155 毫米(6 英寸范围)成功扩展至 204 毫米(8 英寸全范围),晶圆每一处细节都能清晰呈现,不再错过任何关键区域。
▲8英寸Wafer全视野光镜导航图,可提供全尺寸电镜导航
高分辨成像 细节尽在掌握
蔡司 Sigma 360 搭载 Gemini 镜筒,具备卓越的高分辨成像能力。针对半导体晶圆这类大面积样品,能够清晰表征光刻胶、芯片结构,助力关键尺寸测量,为工艺改进提供可靠的数据支撑。
▲晶圆上的光刻胶图形结构。俯视可测量宽度间距等,倾斜可观察并测量侧壁信息。
智能导航软件 操作安全便捷
采用极坐标体系软件控制样品台移动,操作逻辑简洁易懂。用户仅需点击鼠标,即可轻松完成复杂的样品台移动操作,彻底摆脱碰撞风险的困扰,让检测过程更高效、更安全。
▲简洁直观的软件界面
案例分享
半导体晶圆尺寸的演进见证着半导体行业的发展历程。8 英寸(200mm)晶圆作为目前成熟制程的核心载体,在PMIC、IGBT、MEMS、汽车电子、CMOS 图像传感器等众多领域具有无可替代的重要地位,以下为蔡司扫描电镜半导体芯片样品案例。

▲分别使用电位对比度和二次电子形貌相观察半导体芯片金属层

▲高分辨观察孔洞图形结构光刻胶

▲低电压观察倾斜后的光刻胶侧壁细节
蔡司 Sigma 360 凭借 Gemini 镜筒的高分辨率成像能力,已在晶圆研发制造全流程中赢得优异口碑。此次全新推出的基于 Sigma 360 的 8 英寸晶圆全尺寸观察解决方案,将进一步帮您严格把控产品良率、有效降低生产成本,满足半导体研究开发和生产制造的严苛要求。

关于蔡司集团
蔡司是全球光学和光电领域的技术先锋。在2024/25财年,蔡司集团的全年营收达近120亿欧元,覆盖工业质量与研究、医疗技术、光学消费品、半导体制造技术四大业务部门。目前,集团收入的15%用于科学和研发。
蔡司致力于为客户开发、生产和销售前沿创新的工业测量及质保解决方案,针对生物及材料科学领域的显微镜解决方案,以及应用于眼科及显微外科诊疗的医疗技术解决方案。蔡司也是全球光刻技术的行业标杆,其技术被芯片行业应用于半导体元件的制造。除此之外,蔡司品牌的眼镜镜片、相机镜头及望远镜等创新产品也适销全球。
凭借着符合数字化、医疗保健及智能制造等未来发展趋势的产品组合,以及强大的品牌效应,蔡司正在塑造光学及其他相关领域的未来。蔡司在研发方面进行的可持续且大量的投入,为技术的不断发展、市场的持续扩张和公司的未来成功都奠定了坚实的基础。
如今,蔡司集团在全球约50个国家拥有约46,600名员工。集团总部位于德国奥伯科亨,卡尔蔡司股份公司由卡尔蔡司基金会全资所有,后者在德国致力于积极促进科学发展。
蔡司大中华区
蔡司于1957年进入中国,目前在大中华区覆盖半导体制造技术、工业质量解决方案、研究显微镜解决方案、医疗技术、视力保健和消费者光学所有业务领域。2021年起,中国已成为蔡司在全球最大的单一市场,也是最具创新活力、增长最快的市场之一。在2024/25财年,蔡司大中华区营收达161亿元人民币。蔡司在大中华区共有7,000余位员工,分布于各地的60余个生产基地、销售与服务中心及研发中心,为本地客户提供强有力的支持,也为全球各相关业务提供生产保障。
蔡司大中华区总部位于上海自由贸易试验区,设有销售服务总部、应用服务与培训中心、蔡司工业测量部生产工厂及蔡司集团在德国以外的首个企业级创新研发中心。位于上海的蔡司大中华区总部及创新研发中心,协同苏州研发制造基地、广州知识城制造基地,逐步形成以医疗器械、高端制造研发设备及光学镜片为主的产业链闭环,全面支持中国本土研发与生产,携手本地合作伙伴共享高端产业可持续、高质量的发展机遇。
更多信息,请参见蔡司中国官网:
www.zeiss.com.cn
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蔡司研究显微镜解决方案是光学、电子、X射线显微镜系统的一站式制造商,并提供基于人工智能技术的软件解决方案。应用领域涵盖生命科学研究、生物技术与制药、材料研究、工业半导体、教育和临床。
更多信息,请参见蔡司显微镜官网:
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