蔡司半导体全链路解决方案回应高端中国芯制造命题

  
3月25-27日，蔡司亮相 SEMICON China 2026，作为半导体行业值得信赖的合作伙伴，180岁的蔡司凭借光学和光电技术的积淀，为产业链提供从掩模版、晶圆、到封装的全面解决方案，赋能半导体制造商，助力实现稳定、高效、可靠的芯片制造和电子半导体失效分析。

    

• 先进制程工艺解决方案

蔡司全新 Crossbeam 750 聚焦离子束扫描电子显微镜在本次 SEMICON 现场重磅发布，是先进制程TEM样品制备的理想解决方案，它搭载的全新 Gemini 4 电子光学镜筒和全新升级的“HDR”实时观察技术，实现截面纳米结构的高分辨成像以及精准的终点控制。
 
此外，全新的 ZEN core EM 系统采用了更简化的操作界面，为用户带来更便捷稳定、更智能高效的使用体验。
  

▲左：3nm FinFET样品用1KV HDR实时观察技术成像制备后的TEM结果高分辨图; 右：3nm GAA-FET样品用1KV HDR实时观察技术成像制备后的TEM结果高分辨图
 
二、先进封装失效分析解决方案
在先进封装失效分析中，无损检测对样品完整性与分析精度要求极高。蔡司 X 射线显微镜可以无损重构从亚微米级到纳米级的 3D 结构和失效点，为用户提供全方位解决方案。
 
通过全电压 500nm 空间分辨率，精准定位微凸块结构中的缺陷，真正实现高分辨无损成像；凭借50nm的超高分辨率，为先进封装内部纳米尺度互联结构（TSV，Hybrid Bonding等）提供非侵入式的可视化。基于人工智能的高级重构算法，能够在保证效率的同时，兼顾图像质量与高分辨大视野成像。
  ▲左：Hybrid bonding 内部缺陷无损观察@16nm/voxel;右：三维X射线显微镜大体积无损观察HBM结构@0.7μm/voxel
 
三、晶圆特色解决方案
在晶圆和先进封装工艺环节，蔡司提供了从光刻工艺优化，到在线 3D 结构成像的完整解决方案，在晶圆级失效分析与良率提升中，样品完整性与数据代表性要求极高。基于晶圆“不破片”原位观察与分析的需求，蔡司显微镜提供了跨尺度解决方案，无缝覆盖从8 寸到 12 寸晶圆检测、高分辨成像，和三维无损X射线显微成像。
针对原位加工与内部结构解析，蔡司 Crossbeam 550L 提供了强大的 8 寸晶圆原位加工能力，在不破片的前提下，对大尺寸样品进行任意方向、角度的纳米级切割与截面抛光。而面对光掩模高分辨成像中的导电性差、荷电干扰等难题，蔡司 FESEM 搭载的 NanoVP 技术也可以在晶圆不破片的情况下，无需对样品进行镀膜处理并实现高分辨成像，在保持纳米级分辨率的同时，显著提升了信噪比与图像锐度。 半导体产业演进始终紧扣“精密制程、准确定位、高效分析”三大主线，每一环都直接决定了芯片从研发到量产的成败。从“持续微型化”到“超越摩尔”，蔡司始终以 180 年光学技术为根基，依托品牌创新基因为半导体发展提供多元化可能。
期待与中国半导体行业一起，构建繁荣创新的产业生态，助推高质量发展。
 
 
关于蔡司集团
蔡司是全球光学和光电领域的技术先锋。在2024/25财年，蔡司集团的全年营收达近120亿欧元，覆盖工业质量与研究、医疗技术、光学消费品、半导体制造技术四大业务部门。目前，集团收入的15%用于科学和研发。
蔡司致力于为客户开发、生产和销售前沿创新的工业测量及质保解决方案，针对生物及材料科学领域的显微镜解决方案，以及应用于眼科及显微外科诊疗的医疗技术解决方案。蔡司也是全球光刻技术的行业标杆，其技术被芯片行业应用于半导体元件的制造。除此之外，蔡司品牌的眼镜镜片、相机镜头及望远镜等创新产品也适销全球。
凭借着符合数字化、医疗保健及智能制造等未来发展趋势的产品组合，以及强大的品牌效应，蔡司正在塑造光学及其他相关领域的未来。蔡司在研发方面进行的可持续且大量的投入，为技术的不断发展、市场的持续扩张和公司的未来成功都奠定了坚实的基础。
如今，蔡司集团在全球约50个国家拥有约46,600名员工。集团总部位于德国奥伯科亨,卡尔蔡司股份公司由卡尔蔡司基金会全资所有，后者在德国致力于积极促进科学发展。
 
蔡司大中华区
蔡司于1957年进入中国，目前在大中华区覆盖半导体制造技术、工业质量解决方案、研究显微镜解决方案、医疗技术、视力保健和消费者光学所有业务领域。2021年起，中国已成为蔡司在全球最大的单一市场，也是最具创新活力、增长最快的市场之一。在2024/25财年，蔡司大中华区营收达161亿元人民币。蔡司在大中华区共有7,000余位员工，分布于各地的60余个生产基地、销售与服务中心及研发中心，为本地客户提供强有力的支持，也为全球各相关业务提供生产保障。
蔡司大中华区总部位于上海自由贸易试验区，设有销售服务总部、应用服务与培训中心、蔡司工业测量部生产工厂及蔡司集团在德国以外的首个企业级创新研发中心。位于上海的蔡司大中华区总部及创新研发中心，协同苏州研发制造基地、广州知识城制造基地，逐步形成以医疗器械、高端制造研发设备及光学镜片为主的产业链闭环，全面支持中国本土研发与生产，携手本地合作伙伴共享高端产业可持续、高质量的发展机遇。
更多信息，请参见蔡司中国官网：www.zeiss.com.cn
 
蔡司研究显微镜解决方案
蔡司研究显微镜解决方案是光学、电子、X射线显微镜系统的一站式制造商，并提供基于人工智能技术的软件解决方案。应用领域涵盖生命科学研究、生物技术与制药、材料研究、工业半导体、教育和临床。
更多信息，请参见蔡司显微镜官网：http://www.zeiss.com.cn/microscopy
蔡司显微镜官方微信公众号：