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  • 1271 次 SDTR一种薄膜面内各向异性热导率的测量方法 2023-12-21
    DTR一种薄膜面内各向异性热导率的测量方法近年来，随着半导体行业的迅猛发展，半导体元件的体积急剧减小，对芯片或薄膜材料的热物性探究至关重要，这样给予针对超小尺寸的热物性探测技术提供了发

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