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  • 164 次 压电喷墨技术在实现晶圆微透镜阵列精准制备中的应用 2026-8-20
    随着3D结构光、车载激光雷达、高速光通信产业持续扩容，VCSEL器件对晶圆级微透镜阵列的成型精度、一致性提出更高要求。传统光刻、模压工艺流程复杂，掩膜成本高，难以适配小批量多规格快速迭代需

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