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  • 564 次 利用紫外成像获得更高的分辨率 2026-1-30
    紫外的应用点紫外成像可以获得比可见光成像更高的分辨率，能够量测更小的尺寸及分辨更小的缺陷。广泛应用于晶圆和掩膜版关键尺寸(CD)测量及缺陷分析。（基于瑞利公式对比，基于紫外光和可见光波

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